Brooks VersaTorr 系列復合真空計

ersaTorr 是 Brooks Instrument三合一復合寬量程真空變送器，集成 MEMS 皮拉尼、壓電、電容隔膜（CDG）三種傳感，單支實現粗真空?中真空9 個數量級測量，替代多支單原理真空規，廣泛用于半導體 Load?Lock、鍍膜、分析儀器、熱處理爐Brooks Ins...。

型號家族

• BVT100 / BVT125：MEMS 皮拉尼 + 壓電，經濟型復合規，BVT125 內置大氣壓開關

• BVT200 / BVT225 / BVT275：Tri?Sensor 三傳感器（皮拉尼 MEMS + 壓電 + 電容隔膜 CDG）；氣體無關測量，CDG 自動調零，半導體工藝主力型號Brooks Ins...

核心技術特點

1. 超寬量程：\(7.5\times10^\ \mathrm\sim1000\ \mathrm\)（\(1\times10^\ \mathrm\sim1333\ \mathrm\)），一支覆蓋粗抽、過渡、中真空區間

2. BVT200 系列Tri?Sensor 三傳感架構

• 高真空段：MEMS 皮拉尼熱傳導

• 中真空：電容隔膜 CDG（氣體成分無關，不受氣體種類影響）

• 近大氣壓段：壓電傳感器

• CDG 支持自動零點校準，無需人工現場調零，減少維護Brooks Ins...

3. 響應速度：＜20?ms，適合快速抽氣 / 復壓 Load?Lock 腔體聯鎖控制

4. 最多 3 路可編程固態繼電器設定點，直接用于設備聯鎖、泵閥控制

5. 通訊：模擬 0?10V；數字 RS?232 / RS?485 Modbus；支持 USB 通信器現場配置、讀取診斷數據、參數修改

6. 模擬輸出可自定義縮放，可兼容替代市面上多數老款復合真空規，硬件無需改板直接替換升級

關鍵規格對比

表格

BVT125：內置大氣壓檢測開關；BVT225 帶大氣壓開關；BVT275 針對嚴苛工藝、抗顆粒污染，Inconel 隔離膜片版本。

典型應用

• 半導體設備：Load?Lock 腔、預抽腔、前級管路

• PVD/CVD 薄膜鍍膜設備

• 掃描電鏡、質譜分析儀器

• 真空熱處理爐、釬焊爐

• 科研 / OEM 真空系統集成

選型注意

1. BVT100：經濟型，皮拉尼在低壓區氣體相關；BVT200：帶 CDG，工藝氣體變化工況優先選。

2. BVT 系列僅覆蓋到中真空，不能測高真空 / 超高真空（\(<10^\ \mathrm\)），需要電離規擴展。

3. 法蘭標準主流為 DN16?KF；訂貨時指定法蘭、是否需要大氣壓開關、繼電器路數。

4. 配套工具：Brooks Vacuum Sensor Communicator（USB），用于配置、診斷、讀取校準信息。