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XacTorr®（CMX 系列）電容式壓力計
品牌：Brooks Instrument（布魯克斯），半導體行業主流數字式電容薄膜真空計（Capacitance Manometer），用于直接測量絕對真空壓力，不受氣體種類影響，廣泛用于半導體鍍膜、刻蝕、ALD、MOCVD 等工藝Brooks Ins...。
表格
| 型號 | 恒溫溫度 | 典型精度 | 適用場景 |
|---|---|---|---|
| CMX0 | 常溫（無加熱） | ±0.25% 讀數 | 潔凈無冷凝氣體，普通腔體，經濟型 |
| CMX1（CMX45） | 45℃恒溫 | 1?1000?Torr：±0.15% 讀數；＜1?Torr：±0.25% 讀數 | CVD、PVD，普通薄膜工藝 |
| CMX2（CMX100） | 100℃恒溫 | 同 CMX1 | 易冷凝前驅體、ALD、MOCVD 金屬有機源工藝 |
| CMX3（CMX160） | 160℃恒溫 | 10?100?Torr：±0.25% 讀數 | 高沸點、強冷凝氣體、刻蝕腔體 |
全度量程：0.1?/?1?/?2?/?10?/?20?/?100?/?1000?Torr；同時支持 mBar、Pa 單位輸出
傳感器：zhuan li Mark?IV，Inconel 合金耐腐蝕膜片；自帶顆粒 / 可凝物沉降區，減少頻繁校零，延長壽命Cross Comp...
動態范圍：4 個數量級
輸出接口
模擬：0?10?Vdc
數字：RS485、DeviceNet、EtherNet/IP
溫控：雙區溫控，控溫精度 ±0.1℃；溫度未達標禁止調零（Intelli?Touch 智能調零），避免誤校零
零點溫漂：0.002% FS/℃；滿量程溫漂：0.02% FS/℃
全數字化架構，摒棄老式電位器，降低電子漂移；多階數字校準，實時補償環境溫度
獨立 RS485 診斷端口：不干擾設備主通訊，可在線監控、數據采集、故障排查
可選快速響應傳感器，適配閉環壓力控制
配套 XacTorr®?GUI 軟件，用于參數配置、讀取、診斷
CMC：僅常溫、只有 0?10V 模擬輸出、無數字總線，低成本通用鍍膜
XacTorr?CMX：可加熱恒溫、數字 + 模擬雙輸出、高精度、半導體工藝級，抗污染抗漂移
半導體設備：PVD/CVD/ 刻蝕 / ALD/MOCVD；真空鍍膜；科研真空腔體；需要精確絕對壓力測量的工藝。
選型關鍵點：工藝是否存在可凝氣體，以此選擇 45/100/160℃加熱型號；再確定滿量程（Torr）。
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