•  品牌：MKS（半導(dǎo)體真空、工藝控制領(lǐng)域）

• 系列：AIO VIVO 模擬量 IO 模塊

• 料號：AS11880G-12，版本 REV 01

• 類型：8 通道電壓型模擬量輸入模塊

• 安裝方式：DIN 導(dǎo)軌卡扣式安裝，帶網(wǎng)口、歐式插拔端子

核心技術(shù)參數(shù)

1. 通道配置：8 路單端模擬電壓輸入

2. 輸入信號范圍：0~10VDC 標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)電壓信號

3. 通訊接口：以太網(wǎng)網(wǎng)口，用于接入 MKS VIVO 控制系統(tǒng)，采集 MFC 質(zhì)量流量控制器、真空計、壓力傳感器等設(shè)備模擬信號

4. 供電：直流工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)供電，適配半導(dǎo)體設(shè)備控制柜

5. 應(yīng)用場景：半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積、光伏鍍膜、真空制程設(shè)備，采集氣體流量、腔體壓力、溫度等模擬數(shù)據(jù)

主要用途